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天準半導體紅外測量系統(tǒng)在全球處于頭部地位。系統(tǒng)將高性能紅外相機與設計優(yōu)化的紅外光學結合，提供具備出色分辨率和對比度的圖像，實現(xiàn)基板的頂部、底部和內部結構的有效測量。

主要特點

設計優(yōu)化的整套紅外光學系統(tǒng)，紅外波長最高支持1500nm

支持定制適用于不同產品的自動化搬運方案 

可見光和紅外光組合，反射光和透射光組合 

SECS/GEM

IRIS
主要特點

支持定制適用于不同產品的自動化搬運方案

可見光和紅外光組合，反射光和透射光組合

SECS/GEM

長期維護成本低，穩(wěn)定可靠

MT3000VIS/IR
主要特點

全自動測量

可見光和紅外光組合，反射光和透射光組合

SECS/GEM

長期維護成本低，穩(wěn)定可靠

MT2010VIS/IR
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