VMZ高精度影像儀
VMZ 高精度影像儀專為高精度測量場景傾力打造，亞微米級(jí)精度，適用于半導(dǎo)體、微組裝、光通信等高精度測量場景。
1、頂級(jí)的光學(xué)系統(tǒng)，超高放大倍率
多種高倍顯微鏡頭可選擇，放大倍率最大可達(dá) 25-6360倍
主動(dòng)激光對(duì)焦（TTL），實(shí)時(shí)對(duì)焦，提升測量效率
可程控式環(huán)形落射光源，LED輪廓光源，同軸光源，光源配置豐富，產(chǎn)品適用范圍廣
2、高精度運(yùn)動(dòng)平臺(tái)
花崗巖主體結(jié)構(gòu)，精度高、穩(wěn)定性好
采用納米級(jí)超低膨脹系數(shù)光柵尺，確保機(jī)臺(tái)精度及穩(wěn)定性
高速靜音電機(jī)驅(qū)動(dòng)，設(shè)備平穩(wěn)可靠
3、豐富的配件選項(xiàng)
可加裝光譜位移傳感器，實(shí)現(xiàn)高度、平面度等尺寸的掃描與打點(diǎn)測量
多種可選物鏡，實(shí)現(xiàn)更多的放大倍率
| 機(jī)型 | VMZ432-T1 | VMZ432-T2 | VMZ432-T3 |
| 運(yùn)動(dòng)行程(mm) | 400x300x200 | 400x300x200 | 400x300x200 |
| 測量范圍(mm) | 400x300x135 | 400x300x200 | 400x300x200 |
| 外部尺寸(mm) | 800x1240x1762 | 800x1240x1762 | 800x1240x1762 |
| 重量(kg) | 420 | 450 | 450 |
