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1、計量級精度

得益于良好的系統(tǒng)設計,可實現(xiàn)亞微米級精度測量

2、優(yōu)異的結(jié)構(gòu)設計

測量機采用固定橋式的高剛性機械結(jié)構(gòu),使用花崗巖橫梁、底座和立柱,以及精密SIC陶瓷Z軸的組合,保持機械結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性,抗外界干擾能力強

移動工作平臺采用雙燕尾式氣浮導軌,確保系統(tǒng)測量和系統(tǒng)承載的同時提供良好的穩(wěn)定性

3、極致的穩(wěn)定性

碳化硅陶瓷Z軸具有熱膨脹系數(shù)小、剛性強以及質(zhì)量輕等優(yōu)點,在保證測量系統(tǒng)穩(wěn)定性的同時,亦提高了運動特性

各軸采用預載空氣軸承及環(huán)抱式布局,具有高剛性、無接觸、低摩擦以及低磨損的特點,有效保證機器的使用壽命,減少測量不確定性的發(fā)生次數(shù)

采用零膨脹系數(shù)光柵尺,分辨率高達到納米級別,且不受外界溫度影響,保證機器的高精度和穩(wěn)定性

4、安全性

Z軸采用柔性平衡氣缸,確保Z軸運動的可靠性

Z軸平衡氣缸具有氣動邏輯保護和硬件抱死保護兩種保護機制,可在緊急情況下確保探測系統(tǒng)的安全

5、自主研發(fā),具有更好的適配性
革命性的直線電機驅(qū)動搭配TCC自研電控
革命性的直線電機驅(qū)動搭配TCC自研電控
Vispec Cube 自研軟件,獲得德國PTB最高等級                                     Class1(0.1μm、0.1 角秒) 認證
Vispec Cube 自研軟件,獲得德國PTB最高等級 Class1(0.1μm、0.1 角秒) 認證
HSP 固定掃描測頭
HSP 固定掃描測頭
TR50旋轉(zhuǎn)測座
TR50旋轉(zhuǎn)測座


型號行程范圍(mm)外形尺寸(mm)
XYZLxLyLz
CMZ686600800600168221073260
CMZ81068001000600188225573260
CMZ1012810001200800208230073660
CMZ1015810001500800208235823660
CMZ121510120015001000228235074060
CMZ122010120020001000228246324060
長度測量最大允許誤差 MPE(E0) (μm)
0.3μm+L/400起

備注:產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)修改因產(chǎn)品更新會有變動,具體以技術(shù)協(xié)議為準

精度指標:根據(jù)ISO 10360-2:2009,ISO 10360-5:2010 坐標測量機的性能評定標準

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