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1、優(yōu)異的結(jié)構(gòu)設(shè)計

CAE輔助設(shè)計分析,減少結(jié)構(gòu)設(shè)計的偏差,提高結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性,保證精度的長期穩(wěn)定

單邊直驅(qū)移動橋結(jié)構(gòu),移動質(zhì)量更輕,驅(qū)動更接近移動質(zhì)心,有效提高運動性能和精度穩(wěn)定性

2、極致的穩(wěn)定性

關(guān)鍵結(jié)構(gòu)部分采用高精密碳化硅陶瓷材料,移動橋在質(zhì)量更輕的同時,具備更高剛性與更低溫度線膨脹性能,極大提高了精度與長期可靠性

高剛性高性能氣浮導(dǎo)向,無摩擦無磨損,三軸均采用四面環(huán)抱式設(shè)計,具備氣浮壓力監(jiān)測功能,有效確保穩(wěn)定性

三軸采用超低線溫度線膨脹系數(shù)光柵尺,對溫度變化不敏感,有效提高整機的精度

3、安全性

Z軸采用柔性平衡氣缸,確保Z軸運動的可靠性

Z軸平衡氣缸具有氣動邏輯保護和硬件抱死保護兩種保護機制,可在緊急情況下確保探測系統(tǒng)的安全

4、自主研發(fā),具有更好的適配性
革命性的直線電機驅(qū)動搭配TCC自研電控
革命性的直線電機驅(qū)動搭配TCC自研電控
Vispec Cube 自研軟件,獲得德國PTB最高等級 Class1 (0.1μm、0.1 角秒) 認證
Vispec Cube 自研軟件,獲得德國PTB最高等級 Class1 (0.1μm、0.1 角秒) 認證
HSP 固定掃描測頭
HSP 固定掃描測頭
TR50旋轉(zhuǎn)測座
TR50旋轉(zhuǎn)測座
型號行程范圍(mm)外形尺寸(mm)
XYZLxLyLz
CMU686600800600147919322780
CMU81068001000600167921322830
CMU1012810001200800187923403158
CMU1015810001500800187926323158
CMU1020810002000800187932303158
CMU121510120015001000210426323292
CMU122010120020001000210432303292
CMU152012150020001200263032303950
CMU152512150025001200263040373950
CMU153012150030001200263048443950
長度測量最大允許誤差 MPE(E0) (μm)
0.9μm+L/350起

備注:產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)修改因產(chǎn)品更新會有變動,具體以技術(shù)協(xié)議為準

精度指標:根據(jù)ISO 10360-2:2009,ISO 10360-5:2010 坐標測量機的性能評定標準

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