VMZ高精度影像儀
VMZ 高精度影像儀專為高精度測量場景傾力打造，亞微米級精度，適用于半導體、微組裝、光通信等高精度測量場景。
1、頂級的光學系統(tǒng)，超高放大倍率
多種高倍顯微鏡頭可選擇，放大倍率最大可達 25-6360倍
主動激光對焦（TTL），實時對焦，提升測量效率
可程控式環(huán)形落射光源，LED輪廓光源，同軸光源，光源配置豐富，產(chǎn)品適用范圍廣
2、高精度運動平臺
花崗巖主體結(jié)構(gòu)，精度高、穩(wěn)定性好
采用納米級超低膨脹系數(shù)光柵尺，確保機臺精度及穩(wěn)定性
高速靜音電機驅(qū)動，設備平穩(wěn)可靠
3、豐富的配件選項
可加裝光譜位移傳感器，實現(xiàn)高度、平面度等尺寸的掃描與打點測量
多種可選物鏡，實現(xiàn)更多的放大倍率
| 機型 | VMZ432-T1 | VMZ432-T2 | VMZ432-T3 |
| 運動行程(mm) | 400x300x200 | 400x300x200 | 400x300x200 |
| 測量范圍(mm) | 400x300x135 | 400x300x200 | 400x300x200 |
| 外部尺寸(mm) | 800x1240x1762 | 800x1240x1762 | 800x1240x1762 |
| 重量(kg) | 420 | 450 | 450 |
